ZEISS SPECTRUM 可搭载各种接触式探头，包括ZEISS VAST XXT和XDT。ZEISS VAST XXT的扫描功能注重于效率和更可靠的测量：可以快速地检测工件的大量且高质量的数据。其消除了单点测量所带来的测量误差，因此实现了更高的可靠性和重复性

在同类产品中表现突出：具有计算辅助精度（CAA）的RDS C5拥有约5184个可能角度的位置鉴定插值。它可以为探头旋转提供更多位置，缩短鉴定时间并显著延长操作时间。系统还具有CAA功能，并且可以缩短鉴定时间，速度比平时快12倍：完全鉴定约为12分钟，重新鉴定为5分钟。